显微物镜的光学设计

前几天突然有几个童鞋问显微物镜的设计。以前是做过有限共轭的显微物镜,但问到无限共轭物镜的时候,突然有些懵逼,于是又系统的学习了一遍,明确了很多新的显微物镜设计规格。写出来,大家可以一起学习。

Keywords: Objective lens, Infinity-Correction Objective Lens, Tube Lens, ZEMAX

显微物镜结构形式:

目前市场上的显微物镜按照共轭方式分为两种:

有限共轭物镜:教科书式的经典入门显微物镜形式;

无限共轭物镜:物方处在物镜前焦面上,经物镜后产生平行光束,后接Tube Lens筒镜实现全部物镜光学功能。由于该物镜后为平行光,使得其中可以方便插入分光镜等其他光学元件,是现在主流测量、工业显微镜的主要形式。如下图所示:

无限共轭物镜-平行光路插入分光镜等  

分别简介如下:

有限共轭物镜:

详细介绍大家参考教科书吧,这里把LENS DESIGN中的三个常规物镜列举一下,供大家复习。同样的,采用由长共轭(实际像方)追迹到短共轭(实际物方)的方式,长共轭方NA均为0.025。

Lister型:10X, NA=0.22, EFL=15.7, 物像距180mm, 像直径16mm:

10X显微物镜

2. 20X, NA=0.49, EFL=7.85, 物像距180mm, 像直径16mm:

20X显微物镜

3. 改进型阿米西-复消色差:47.5X, NA=0.91, EFL=3.76, 物像距180mm, 像直径16mm:

47.5X显微物镜

4. 油浸阿米西-复消色差:98X, NA=1.28, EFL=1.79, 物像距180mm, 像直径16mm:

98X油浸物镜

以上显微物镜均为目视设计,由于人眼观察不同视场时主动调焦,所以场曲不严格矫正。

当显微物镜后接CCD或投影成像时,场曲必须矫正,因此才有了平场消色差和平场复消色差物镜。

无限共轭系统——Tube Lens 筒镜:

在介绍无限共轭物镜之前需要先了解Tube Lens,才能根据Tube Lens的焦距决定物镜放大率,焦距、视场等指标。

通常筒镜焦距为180mm或200mm,其中OLYMPUS家以180mm为主、其他家多用200mm。

下面以OLYMPUS专利US9983398B2为例,看下他家的设计:

US9983398B2实施例1光路  
US9983398B2实施例1参数  

该设计使用5组7片式球面镜组,根据以上结构参数可反推出ZEMAX中使用的参数如下:

· 像方NA=0.07可推出EPD=~25mm

· 像高15mm(全像面尺寸30mm)可反推HFOV=~4.8°

· 主波长d光587.56nm(其他波长为435.84, 486.13, 546.07, 656.27)。

将以上所有参数输入ZEMAX,玻璃替代为OHARA家的牌号,得到如下模型:

原始参数输入ZEMAX

可以看到,像质仍然接近衍射极限,剩余的主要是彗差,导致子午/弧矢方向MTF劣化。此外、色差与场曲也相对比较大。

基于此设计优化各曲率和空气间隔后,低频MTF可得到少量提高。

优化曲率与空气间隔后  

无限共轭物镜:

仍以OLYMPUS家的专利US20170184830A1来看下无限共轭物镜的结构形式。

该物镜使用9组14片的消色差结构,配合180mm Tube Lens实现40X放大率,玻璃材料同样为日本OHARA家的。

US20170184830A1结构形式  
像差指标
镜片参数
镜片参数(续)

该物镜焦距4.5mm,放大率=180/4.5=40,由NA与EFL估算EPD~7mm。HFOV取~3°。

复现ZEMAX模型如下:

EFL4.5无限共轭显微物镜  

由于使用了多片超低色散玻璃,该物镜可见光区域的剩余球差、色差非常小。但视场边缘存在杂光,好在我们主要关注的还是中心视场区域。

ZEMAX模型的像差指标  

各位也可以基于这个初始结构优化下,尝试提升下MTF指标。

就先到这里了。

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下期再见啦。

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