生产情况反馈：

①Array in  Plan：1100sh  Act：1110sh

  Array out: Plan：880sh Act：886sh

②重点工序Movment：

PH Mov：7.26K；

PH15 Run 14PK EN 447Min Loss：0.44K；

AL SP: 1.06K

Cu SP: 2.36K

①SP11 HDC报警(三次）100Min；Loss:116sh;

②SP11 PM2.2 阳极棒损坏＞10H,目前在开腔更换，预计最快得下半夜3点恢复（目前单腔对应，TT升至61s），全天Cu Dep产能折损 0.28K；

③生产问题点：

a：Confirm异常：

PH12 8EK SD Mask Confirm CD/MM OK,HT待测试＞19H（CD05 宕机后Recipe丢失，目前厂商在处理中）→PH12会有IDLE风险；

PH04 12.2YA ITO Mask Confirm  CD 2次NG,目前第三次已下,待结果，影响今日出货；

b：PH13 NO Via高发，清洁 195Min，10.9CL Via Mask Delay 3.5H，影响整体进度；

④Array N9/11DQ进度：

a、14PJ进度：第一波1.4k持续出货中，因PH07作业超时6h，整体delay 8h，剩余0.26k加急产出，减少CF Idle

第二波GI Etch Delay 1D ：对应12.71G TO Gate EN；

b: 11DQ进度：先行：IGZO Mask Confirm OK，Maint：IGZO Dep/Mask持续进行；进度无异常